Ionix System 无线晶圆离子能量分析仪
发布时间:
2025-03-18
类型:
数据手册,规格书、Datasheet;PDF下载
品牌:
艾兰科技
型号:
-
本产品手册详细介绍了Ionix System无线晶圆式离子能量分布测量系统,该系统通过创新的类晶圆式探头设计,实现了对等离子体轰击晶圆表面离子能量分布的精准分析。该设备无需外接连线或对腔室进行改造,即可通过正常的装载-进样装置传送至腔室,利用内置电池及存储装置在真实工艺过程中实时存储数据,测量完成后取出即可导出诊断。其测量离子能量范围可达1500eV,厚度仅3mm,支持接地、悬浮及射频偏压条件,并能通过更换不同灵敏度探头适配0.001至700 A/m²的等离子体电流密度。该系统一套即可适用于多个腔室及多种反应气体环境,广泛应用于基础研究、等离子体模型验证及产线上的离子能量监控,能够通过离子能量和流量等关键参数有效反映工艺过程表现。基于该方案,用户可通过世强硬创平台获取原厂授权的正品器件,平台提供专职FAE团队支持选型、设计验证及调试。相关产品支持单件起订、在线下单、样品申请、批量询价,并覆盖从研发打样到量产的全生命周期采购需求,有助于缩短供应链响应周期,加速产品开发与上市。
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加工定制
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可定制电线特性阻抗50-80Ω,静电容量54-110pF/m,减衰量0.5-0.7db/m以下,芯对数和截面积、尺寸长度;支持B超电线、内窥镜电线、血液分析仪电线、医疗USB电线、病床设备电线定制。
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应用/方案
等离子体表面处理|Cirrus&Nimbus大气等离子体处理系统
CIRRUS & NIMBUS大气等离子体处理系统适用于多种材料的表面活化、清洁和改性,包括聚合物、金属、玻璃和陶瓷。系统操作简便,可通过前面板软键盘控制,也可与外部控制设备接口。CIRRUS & NIMBUS适用于多种材料处理,如等离子体清洁、表面活化、工程聚合物(如PEEK)、PCB、金属、陶瓷和玻璃。系统具有紧凑的控制器,内置气流调节单元,无需额外设备。CIRRUS & NIMBUS适用于复合材料、航空航天、汽车、医疗塑料和微流控等市场。
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