【技术】EPSON专利技术QMEMS陀螺仪传感器，温漂系数1LSB/℃

时间： 2019-09-02 来源：世强作者：Zake

陀螺仪传感器在很多领域都需要用到。如被用在手机的摄像头上，来防止由于抖动对图像质量的影响。再如当汽车行驶过程中没有GPS讯号时，可以通过陀螺仪来测量汽车的偏航或直线运动位移，从而继续导航等。

陀螺仪传感器有MEMS（微机电系统）陀螺仪和QMEMS陀螺仪。目前常见到的都是MEMS（微机电系统）陀螺仪。MEMS陀螺仪内部的设计与工作原理各式各样，但主要都是采用振动部件传感角速度的概念。绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。

那什么是QMEMS陀螺仪呢？Q就是quartzd石英的缩写。QMEMS是EPSON的专利技术。将石英置于交流变电场中，当交流变电电场与石英自然频率匹配，就会产生谐振。相反，石英在受压时能产生一定的电场。MEMS系统产生的科里奥利力作用于石英上，将力的变化转换成电荷的变化量，就可以检测出传感器所受转动的角速度。

采用这种QMEMS陀螺仪到底有什么好处呢？陀螺仪输出的是角速度，要通过积分才能获得角度，但是即使在零输入状态时，陀螺仪受温度等影响依然是有输出的，它的输出是白色杂讯和慢变随机函数的叠加，因此，在积分的过程中，必然会引进累计误差，积分时间越长，误差就越大。由于石英晶体具有比较出色的温度稳定性，因此将它与MEMS结合的QMEMS陀螺仪具有非常好的温漂性能。如EPSON的陀螺仪XV7011BB的温漂系数为1LSB/℃（8bit模式）。EPSON QMEMS陀螺仪传感器经过多次温度补偿之后，在-40℃至+85℃的大范围温度条件下，大幅度改善了离差，实现了静止状态下角速度输出保持稳定的温度特性。在智能扫地机器人中，陀螺仪XV7011BB出色的温漂特性，助力扫地机器人路径规划和实际运行更精确。

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