4200-SCS Semiconductor Characterization System Quick Start Guide
●4200型半导体表征系统(SCS)可以使用多达八个源测量单元(SMU)自动表征半导体器件和测试结构的IV和CV。
●以下四个软件工具用于操作和维护4200-SCS。
■KITE-Keithley交互测试环境(KITE)是4200-SCS设备表征应用的主要模型。首先使用KITE将测试组织到各个项目中。随后,您将使用KITE来管理和执行这些项目。您可以交互地表征单个设备或自动测试整个半导体晶片。
■KULT-Keithley用户库工具(KULT)允许您用C编程语言创建算法(用户模块),然后将这些模块集成到KITE中。这些模块可以控制内部4200-SCS仪器和外部仪器。您还可以使用KULT创建和管理用户模块库。
■KCON-Keithley配置(KCON)实用程序允许您配置连接到4200-SCS的外部GPIB(IEEE-488)仪器、开关矩阵和分析探头。KCON还提供基本的诊断和故障排除功能。
■KXCI-Keithley外部控制接口(KXCI)允许您使用外部计算机通过GPIB(IEEE-488)总线,使用HP 4145B风格的命令集,远程控制4200-SCS SMU。您可以在4145仿真模式或4200扩展模式下执行此操作,该模式提供对所有4200-SCS SMU命令和范围的访问
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